ecoFluor

Innovative und umweltfreundliche, auf Fluor (F2) basierte Reinigungsprozesse als Ersatz für NF₃ und PFCs in der Halbleiterindustrie

 
 
© Texas Instruments
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Die Herstellung von Mikrochips für Handys, Laptops oder Taschenrechner stellt höchste Anforderungen an die Sauberkeit eingesetzter Materialien und Fertigungsschritte. Die für diese kleinen Elektronikbauteile benötigten Schichten und Strukturen sind zum Teil nur wenige Nanometer groß. Daher werden viele der Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie nach jedem Arbeitsschritt gründlich gereinigt. Bisher geschieht dies mit Perfluorierten Kohlenwasserstoffen (PFCs) oder Stickstofftrifluorid (NF₃) und damit Gasen, die für die Umwelt bis zu 17.000-fach schädlicher sind als Kohlendioxid, da sie besonders stabil sind und deshalb lange in der Atmosphäre verbleiben.

Das Team des Projekts „ecoFluor” setzt auf einen innovativen Gasmix, der mit bis zu 20 Prozent weniger Fluor auskommt und vollständig auf die umweltschädlichen PFCs und NF₃ verzichtet. Das Treibhauspotenzial der verwendeten Gasmischung ist null und damit geringer als das von Kohlenstoffdioxid. Durch den zusätzlichen Einsatz von Mikrowellen-Technik soll der innovative Gasmix die Reinigungszeit der Produktionsanlagen verkürzen und so Kosten einsparen.

Die Partner kooperieren während der dreijährigen Projektlaufzeit arbeitsteilig. Solvay liefert die innovative Gasmischung und schult das Personal im sicheren Umgang damit. Die Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörpertechnologien sorgt für die fortlaufende Optimierung der Gasmischung. Muegge unterstützt das Projekt mit seinem mikrowellenbasierten Know-how und der entsprechenden Technik. Texas Instruments schließlich demonstriert die Anwendbarkeit der neuen Gasmischung in der industriellen Halbleiterproduktion. Hierzu wird am Produktionsstandort in Freising die Gasmischung an wenigen Produktionsanlagen getestet. Im Folgenden sollen die neuen Reinigungsprozesse dann in die Produktion überführt und ihre betriebliche Kontinuität und Leistungsfähigkeit demonstriert werden.

Die weltweite Produktion von Mikrochips und Sensoren durch die Halbleiterindustrie wächst stetig und wird 2016 die Zahl von 1 Billion Stück überschreiten. Der Markt für die neuen innovativen Gasmischungen ist global. Bei einer breiten Durchdringung in der Halbleiterindustrie und der damit verbundenen signifikanten Reduktion der Emissionen klimaschädlicher Gase kann ein bedeutender positiver Effekt für die Umwelt erzielt werden.

 
 
Muegge GmbH
Muegge GmbH
Solvay Fluor GmbH
Texas Instruments Deutschland GmbH
 

Kontakt

Michael Pittroff
Solvay Fluor GmbH
Hans-Böckler-Allee 20
30173 Hannover
Telefon: +49 511 857-3448
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Projektteam

  • Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT
  • Muegge GmbH
  • Solvay Fluor GmbH
  • Texas Instruments Deutschland GmbH
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